Year	2011
Authors	Chiu, Yi
Paper Title	“光伏式PN 接面垂直梳狀致動器,” 黃信瑀, 許琇婷, 林弘毅, 邱一, 方維倫, 第十三屆奈米工程暨微系統技術研討會, 2009.
Date of Publication	2011-07-26