年度 2011
全部作者 邱 一
论文名称 “Integration of SOI and SU-8 in a surface-micromachining-like process and its application in micro optical system,” C-W. Chung, C-W. Wu, and Y. Chiu, 台湾光电科技研讨会 (OPT), 2005.
发表日期 2011-07-29