年度 | 2011 |
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全部作者 | 邱一 |
论文名称 | “Assembly of micro mirrors on SOI wafers using SU-8 mechanisms and one-push operation,” Y. Chiu, W.-Z. Huang, C.-S. Wu, and C.-A. Lin, 台湾光电科技研讨会 (OPT), 2008. |
发表日期 | 2011-07-26 |
登入 阳明交通大学 电控工程研究所
年度 | 2011 |
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全部作者 | 邱一 |
论文名称 | “Assembly of micro mirrors on SOI wafers using SU-8 mechanisms and one-push operation,” Y. Chiu, W.-Z. Huang, C.-S. Wu, and C.-A. Lin, 台湾光电科技研讨会 (OPT), 2008. |
发表日期 | 2011-07-26 |