年度	2011
全部作者	邱一
论文名称	“Integration of SOI and SU-8 in a surface-micromachining-like process and its application in micro optical system,” C-W. Chung, C-W. Wu, and Y. Chiu, 台湾光电科技研讨会 (OPT), 2005.
发表日期	2011-07-29