年度	2015
全部作者	邱俊诚
论文名称	邱俊诚、洪振钧、谢礼忠、蔡櫂隆、侯冠州、张志玮，“利用CMOS MEMS及后制程制作之静电式低电压驱动光相位调制器阵列”，第十三届奈米工程暨微系统技术研讨会，2009年7月9-10日，新竹。
发表日期	2015-06-12