年度	2015
全部作者	邱俊誠
論文名稱	邱俊誠、洪振鈞、謝禮忠、蔡櫂隆、侯冠州、張志瑋，“利用CMOS MEMS及後製程製作之靜電式低電壓驅動光相位調制器陣列”，第十三屆奈米工程暨微系統技術研討會，2009年7月9-10日，新竹。
發表日期	2015-06-12